时代搭台，政策助力，为高技术含量、高附加值、强竞争力的高端制造产业发展营造了良好氛围，推动从“制造”到“智造”的新常态。半导体设备作为高端装备制造产业的代表、芯片制造环节的基石，在5G、物联网、人工智能等高新技术加持下迎来战略机遇期，向智能化、数字化、绿色化升级转型。  

 

        中微半导体设备（上海）股份有限公司（简称“中微公司”）致力为全球集成电路和LED芯片制造商提供***的加工设备和工艺技术解决方案，其开发的电容耦合等离子体（CCP）刻蚀设备、电感耦合等离子体（ICP）刻蚀设备、深硅刻蚀设备及MOCVD设备，在性能和竞争力方面均达到国际前三的水平。这些设备是制造微米级和纳米级微观器件的关键，而微观器件是现代数码产业的基础，正不断改变着人类的生产和生活方式。ABB为中微公司提供了Tmax XT塑壳断路器、AF接触器、SU200M微型断路器等技术产品，保障精密设备的电动机控制中心安全、连续、稳定运行。  

 

 

        半导体全产业链技术壁垒较高，半导体设备必须兼顾性能与稳定性，才能满足晶圆制造严苛的良率要求。芯片越先进，所需的制程越小，微观图案的“分辨率”就越高。以中微公司的刻蚀设备为例，作为纳米级雕刻的“手术刀”，其工艺是在芯片上进行微观加工，芯片加工的精度相当于达到头发丝直径的万分之一，要求极其苛刻。ABB的电气产品满足了半导体设备对稳定性及高性能的双重标准。  

 

        Tmax XT塑壳断路器为双重绝缘结构，具有超强的抗机械震动和抗电磁效应，保证了设备的安全性。而AF接触器拥有宽电压、低功耗，分合式开关等优势，可在电压不稳定电路中的稳定、持续运行，是电机控制和电路通断的一个重大提升，能帮助中微公司减少80%的消耗。因散热量减少，同时增加了控制柜中的安装密度，实现了降本增效。  

 

        万物互联的时代，机械设备的智能化升级势在必行。ABB数字化解决方案能够对智能元器件进行设备健康管理，提前预测设备故障，减少非预期停电所造成的经济损失，变被动预防式维护为主动预测性维护。ABB与中微公司通力合作，计划将在半导体设备中应用ABB数字化模块，实时监测开关主回路运行温度，保障设备的运行安全、稳定，实现智能运维。  

 

        ABB电气中国总裁赵永占表示，半导体装备制造是信息技术的核心，需要更为精密先进的技术集成。ABB电气产品在中微半导体设备上的成功应用，提升了精密设备的稳定、可靠性，印证了ABB在电气领域深厚的技术专长和品质保证。中微公司是中国高端装备制造产业的企业之一，ABB愿与行业先锋进一步探索机械设备的高质量发展。